Результаты совместной работы учёных ТУСУР и специалистов из России, США и Германии
Сегодня в России при производстве и дальнейшей проверке изделий наноэлектроники на полупроводниковой пластине используется эталонная база других стран, так как государственный эталон отсутствует.
Исследовательский коллектив специалистов из России, Германии и США поставил перед собой задачу добиться увеличения точности измерения, что необходимо современной наноэлектронике, которая в последнее время активно совершенствуется и переходит на более высокие частоты.
Группой был разработан новый способ проверки точности измерении параметров полупроводниковых приборов на пластине в диапазоне до 110ГГц. Но производство самих эталонов не планируется. Планируется, что финалом работы научного коллектива станет производство новой высокочастотной СВЧ-измерительной техники международного уровня. В состав коллектива, помимо учёных-исследователей из ТУСУР, входят метрологи из Германии (РТВ), специалисты по измерительным технологиям для наноэлектроники из Тайваня (MPI Corporation), а также представители предприятий, производящих измерительную технику: томской компании «НПК ТАИР», челябинской компании «Планар» и американской «Copper Mountain Technologies».
Результаты своей работы научная группа представляла в предыдущие годы на профильных международных конференциях в зарубежных странах. По результатам научных мероприятий статьи авторского коллектива были опубликованы в сборниках трудов конференций, индексированных ведущими мировыми базами. Кроме того на реализацию проекта в феврале 2015 года Александр Савин получил грант Президента Российской Федерации среди молодых учёных в номинации «Технические и инженерные науки».